| 電子機器の小型化・高度化が進むにつれて、熱設計の重要性が増していますが、微細加工における薄膜の熱伝導率の計測はたいへん難しい技術の一つと言えるでしょう。この出稽古パッケージでは、厚さ100ナノメートルほどの薄膜の熱伝導率も計測できる「３ω（オメガ）法」による測定法を伝授します。とくに３ω法では測定に必要な細線金属薄膜をつくる技術が要求されますが、実際に自分の手を動かしてモノづくりの楽しさを味わいながら、マイクロ加工の基礎を学んでもらいます。そのほかにも、熱伝導方程式を解いたり、計測関連の標準的な開発ツール「LabVIEW（ラボビュー）」を用いたプログラミング技術、オシロスコープやロックインアンプといった測定機器の使い方など、さまざまな周辺の知識や技術も学ぶことができます。どうぞ気軽に楽しむ気持ちで参加してください。 |
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